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容大感光4月11日在互动平台表示,目前公司已经购买i线投影步进式曝光机(i-linestepper),用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入,已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台,其中主要测试设备包括:光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。
(文章来源:界面新闻)
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